隨著去年由牛津儀器主辦，中科院半導(dǎo)體所協(xié)辦的研討會成功舉行，吸引了110余名來自半導(dǎo)體領(lǐng)域的用戶。今年牛津儀器將再次在上海舉辦為期一天的納米級等離子研討會.
研討會設(shè)在Semicon 2012的前一天, 牛津儀器的國外應(yīng)用專家及國內(nèi)知名機(jī)構(gòu)的用戶將出席并發(fā)言.
本次研討會主題與主講者如下:
• Introduction to ALD and its applications, including photovoltaics; Prof Erwin Kessels, University of Eindhoven (TU/e), Netherlands
• Etch & deposition process in the OPTO and MEMS application device; Dr. Chu Ann-Kuo, Professor of Department of Photonics, National Sun Yat-sen University, Taiwan
• Infrared Focal Plane Arrays (IRFPAs) detector for space applications; Dr. Zhenghua YE, SITP (Shanghai Institute of Technology Physics)
• Micro/Nano fabrication and characterization of Si field electron emitters; Guest Speaker: Dr. Juncong SHE, Sun Yat-Sen University, China
• ALD used in the MEMS application; Jerry Wang, Manager of Microsystems Technology Center, ITRI, Taiwan
牛津儀器等離子部的亞洲銷售經(jīng)理Jeffrey Seah先生將為這次研討會致開幕詞：“預(yù)計將有許多的觀眾參加這次的研討會, 我們非常榮幸地邀請到了國內(nèi)知名機(jī)構(gòu)的用戶介紹他們?nèi)绾尾僮魇褂梦覀兊牡入x子工藝，同時還有機(jī)會與等離子工藝應(yīng)用專家們分享經(jīng)驗, 從而讓大家學(xué)習(xí)到更多的相關(guān)知識。”
我們在2011年取得了成功，今年的研討會也會有眾多知名的嘉賓到場并發(fā)表精彩演講，牛津儀器真誠地期待對等離子工藝的學(xué)術(shù)和生產(chǎn)有濃厚興趣的觀眾參加。
此次活動可免費(fèi)參加，但必須提前通過以下郵箱預(yù)訂process.news@oxinst.com 或 lingling.wang@oxinst.com
關(guān)于牛津
牛津儀器公司于1959年創(chuàng)建于英國牛津，現(xiàn)已成為世界領(lǐng)先的科學(xué)儀器跨國集團(tuán)公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設(shè)備、超導(dǎo)超低溫產(chǎn)品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機(jī)、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及全球的分公司或辦事處。
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