詳細說明
電子工業中,生產單晶硅半導體材料、二極管、三極管、集成電路、光、硬盤、顯象管時,都需要達到電子級標準的工藝用水,在我國,電子級水共分五個級別,部分指標如下:
指標 級別 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ EW-Ⅴ
電阻率
MΩ.cm(25℃) 18
90%時間最小17 15
90%時間最小12 10
90%時間最小8 ≥2 ≥0.5
大于1μm微粒數,最大值,個/ml 1 5 10 100 500
大于0.5μm微粒數,最大值,個/m 100 300 500 1000 2000
細菌個數,最大值,個/ ml 1 5 10 50 100
總有機碳含量,最大值 50 100 200 1000 5000
二氧化硅總含量,最大值 2 20 50 100 1000
電子級水基本制水流程如下:
原水 預處理 反滲透 混床 UV MF
我司從事高純水、超純水設備的生產有多年歷史,可按用戶的需求提供達到電子級別用水的生產線。
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