反滲透（膜分離）技術的應用使超純水制備從傳統的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器、混合 近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ•CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業。