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EMS1050 低溫灰化儀

 
品牌: EMS
單價(jià): 1.00元/臺(tái)
起訂: 1 臺(tái)
供貨總量: 999 臺(tái)
發(fā)貨期限: 自買(mǎi)家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
所在地: 北京
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2019-02-27 11:54
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公司基本資料信息
詳細(xì)說(shuō)明
 EMS1050 低溫灰化儀

應(yīng)用領(lǐng)域:

l 生物芯片領(lǐng)域

l 醫(yī)用材料、光學(xué)材料研究

l 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域

l 高分子材料研究

l 電化學(xué)、高端零部件處理

l 有機(jī)材料的灰化、刻蝕

 

儀器性能:

l 自動(dòng)調(diào)頻高頻發(fā)生器

l 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵

l 此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮瑲鍖?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕

l 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

l 真空監(jiān)測(cè).

l 雙重氣流針閥控制

l 精確時(shí)間定時(shí)

l 微處理器程序設(shè)置

l LCD狀態(tài)數(shù)字顯示

l 腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),樣本操作方便

l 聚碳酸脂安全防護(hù)  

 

技術(shù)參數(shù):

電鏡有機(jī)樣本的刻蝕尺寸

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派熱克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)

(硼硅酸鹽玻璃為標(biāo)準(zhǔn)配置)

重量

25Kg

等離子體輸出

最大150w,13.56 MHz 。

等離子體輸出

最大150w,13.56 MHz 。

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

時(shí)間控制

最長(zhǎng)可設(shè)置99小時(shí)59分鐘

雙重氣流控制

雙重針閥氣流控制,可選1種或2種氣體(校準(zhǔn) 5-100cm3/min air at A.T.P)

電源

230 V, 50Hz (3 amp Max)

 

訂購(gòu)信息:

貨號(hào)

產(chǎn)品名稱

規(guī)格

93000

EMS 1050 低溫灰化儀

臺(tái)

91005-F

Rotary Vacuum Pump (Fomblin)

個(gè)

 

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