中國科學院電子學研究所傳感技術國家重點實驗室夏善紅研究員團隊經過十余年的深入研究，成功研制出基于MEMS(微機電系統)技術的電場傳感器系列創新產品，包括地面大氣電場傳感器、探空大氣電場傳感器、三維電場傳感器，以及面向智能電網應用的電場傳感器，于2013年9月通過了產品設計定型鑒定，已實現小批量生產和應用。

　　該系列產品的特點有體積小，空間分辨率高，功耗低;無電機磨損部件，穩定性好，可靠性高；可同時測量靜電場和交變電場;可用于單點電場探測或區域多點無線組網電場探測。

　　產品已在航空航天、智能電網、氣象等多個領域的二十余家單位使用，受到用戶的一致好評。

 地面大氣電場傳感器

 探空大氣電場傳感器

 三維電場傳感器

 智能電網應用電場傳感器

　　據業內預測，隨著全球電子制造業繼續向中國轉移，預計2013年至2015年，中國MEMS市場將繼續保持兩位數增長，到2016年，中國MEMS市場銷售額預計將超過350億元。