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顯微鏡的分辨率及電子顯微鏡的景深

   2025-07-05 現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室裝備網(wǎng)763
    摘要:電子顯微鏡與光鏡相比電鏡用電子束代替了可見光,用電磁透鏡代替了光學(xué)透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。與光鏡相比電鏡用電子束代替了可見光,用電磁透鏡代替了光學(xué)透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。

    徠卡顯微鏡由于電子的波動(dòng)性,當(dāng)它通過小孔光闌時(shí)會(huì)發(fā)生衍射現(xiàn)象。衍射結(jié)果表現(xiàn)為每個(gè)物點(diǎn)形成的像是一個(gè)圓斑(周圍的副光環(huán)可忽略不計(jì))。定義這個(gè)衍射圓斑的半徑為衍射像差。在像方或物方可分別表示為:

    (Ar&ff),=0.611/a(1一22a)

    (1rdff)o=0.61A/ao(1一22b)

    式中各符號(hào)的意義同前。可以看出加大光闌孔徑角as,可以減小衍射差。但實(shí)際工作中還應(yīng)注意這樣會(huì)帶來的不利影響。

    5景深和焦探(11)

    景深就是在保持像清晰的前提下,可允許物面在軸上的移動(dòng)距離,或者說可允許物上不同部位處的凹凸差。根據(jù)圖1-10,理想情況下物點(diǎn)P成像在Q點(diǎn).如果物面在P點(diǎn)前后P`P"之間移動(dòng),則在Q看到的物有一定橫向?qū)挾取H绻哥R有各種像差。該系統(tǒng)實(shí)際存在一個(gè)對物的可分辨極限(分辨率8)。顯微鏡價(jià)格只要P`P,,間平面上的物點(diǎn)寬度小于或等于s,則在Q處的成像效果與P點(diǎn)處幾何物點(diǎn)造成的像斑是相同的,即其清晰度相同。因此可允許的物在軸上最大距離PP"稱景深Do,它由下式定出:

    D0二

    (1一23)

    式中d一電子光學(xué)系統(tǒng)對物的分辨率;

    ao一電子束的物方有效孔徑角.

    對于100kV的電鏡,偏光顯微鏡如果分辨率為lnm,物鏡孔徑角為5X10-1rad,則景深Do=200nm.這表示樣品厚度或表面凹凸起伏不超過200nm時(shí),能得到均勻清晰的圖像.由此可見景深也常常成為對樣品厚度的限制因素之一。

    把景深這一特性轉(zhuǎn)換到像方便可得到焦深Df。它就是為了得到清晰度相同的像,可允許的圖像顯示或記錄平面的軸向位移量。參照(1一23)可得:

    Df=B;/a(1一24)

    式中S;一像方的分辨率;a;一電子束的像方有效孔徑角。

    奧林巴斯顯微鏡像方分辨率S;受觀察熒光屏的分辨率所限制。通常熒光屏的分辨率為505m。如電鏡最高放大倍數(shù)M=10`X,電子束孔徑角ao=5X10-`rad,則最長焦深(D1),o,==100M。即使在最低放大倍數(shù)M=10`X,相應(yīng)的ao=1X10-`rad時(shí),最低焦深(Df).二50cm。可見電鏡的焦深值很大.這就說明了在透射電鏡中為什么我們只對熒光屏調(diào)焦,而把像記錄在其下方的電子感光板或其上方的35mm膠片上時(shí),總能得到清晰的像。

 

 
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