掃描式電子顯微鏡室：掃描式電子顯微鏡（含EDS系統）、鍍碳(金)機、薄膜應力量測儀。

    穿透式電子顯微鏡室：穿透式電子顯微鏡（含EDS系統與離子減薄機）,偏光顯微鏡。

    精密儀器室：

    主要設備包括刮痕式鍍膜附著性試驗機、應力應變試驗主機、2D/3D表面粗度輪廓儀、金相顯微鏡、微放電加工設備、迴轉式多功能磨耗試驗機、多功能滑動磨耗試驗機。

    材料檢測室：主要設備包括非接觸溫度計量測系統、真空烘箱、動態疲勞實驗機、100噸靜態拉伸實驗機等。

    以上設備為研究用等級，提供良好的研究支援能量。